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ISC-200离子溅射仪网络单页 [返回]

 

离子溅射仪:

ISC-200型离子溅射仪
本仪器主要用于扫描凯发官方手机版样品镀覆导电膜(金膜),仪器操作简单方便,是配合中小型扫描凯发官方手机版制样必备的仪器

参数表:

名称

小型离子溅射仪

型号

ISC-200

玻璃处理室

Φ100mmX高度130mm

试样台尺寸

Φ40mm

可同时放6个样品杯(Φ6/13/32)

靶材尺寸

Φ58mm

真空系统

直联旋片真空泵2L/S

真空检测

皮氏计

真空保护

气阀调节

媒介气体

空气或氩气

配有氩气专用进气口和微量充气调节

 

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